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- 技术规格
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仪器参数：
一、粗糙度测量
X 轴 (驱动部)
1.测量范围: 100mm
2.分辨率: 0.5μm
3.长度基准: 高精度位移传感器
4.驱动速度: 0 – 10mm/s
5.测量速度: 0.5 - 2mm/s
Z 轴 (立柱)
1.类型: 电动操作
2.垂直移动: 350mm
检测器
1.范围／分辨率: 1000μm / 0.01μm
2.测针针尖: 2um
3.示值误差: ±5%-—±7%
4.测量重复性: ± 3% -—-±5%
5.类型: 差动电感式
6.驱动装置的控制:手动或 PC 操作
评价参数
1.Ra, Rq, Rz, Ry, Rz(JIS), Ry(DIN), Rc, Rp, Rpmax, Rpi, Rv, Rvmax, Rvi,
Rt, Rti, R3z, R3zi, R3y, S, Pc (Ppi), Sm, HSC, mr, dc, plateau ratio,
mrd, Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2, Da, Dq, la, lq, Sk, Ku, Lo, Lr, A1, A2
取样长度
1.0.08mm, 0.25mm, 0.8mm, 2.5mm, 8mm
数据补偿功能
倾斜补偿，R 平面(曲面) 补偿，椭圆补偿，抛物线补偿，
双曲线补偿，二次曲线自动补偿，多项式补偿，多项
式自动补偿
二、轮廓测量
1.测量范围:≤100mm
2.分辨率: 0.1μm
3.测量速度: 0.2, 0.5、1mm/s
4.测量方向: 向后
5.指示精度: ±(3.5+2L/100)μm
* L = 测量长度 (mm)
6.测针上／下运作: 弧形运动
7.测针方向: 向下
8.测力: 10 - 30mN
9.测针针尖半径: 25μm, 硬质合金针尖
