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光切法显微镜原理

  光切法显微镜(Optical Sectioning Microscope),又称光切显微镜或双管显微镜,其原理主要基于光的反射、折射以及光切法测量技术。以下是该显微镜原理的详细解释:

  基本原理

  光切法显微镜利用光切原理来观察和分析物体的微观表面结构。它通过将一束细窄的光带(如狭缝光)以特定角度(如45°)投射到被测物体表面,光带与物体表面相交形成的轮廓曲线影像即反映了被测表面的微观几何形状。这种方法特别适用于测量金属零件的平面或外圆表面的粗糙度。

  工作过程

  光源与投影:从光源发出的光线经过聚光镜照亮狭缝,形成一条细窄的光带。这条光带通过组合物镜以特定角度(如45°)投影到被测表面上。

  反射与成像:光带与被测表面相交,表面轮廓的波峰和波谷分别在不同点(如S点和S'点)产生反射。这些反射光线再次通过组合物镜,成像于观察显微镜的分划板上,形成具有与被测表面相同轮廓的齿状亮带。

  测量与分析:通过目镜的分划板与测微器,可以测量出齿状亮带上特定点(如a点和a'点)之间的距离N。根据显微镜的放大倍率M,可以计算出被测表面的微观平面度h。

  特点与应用

  高分辨率:光切法显微镜能够实现高分辨率的成像,特别是在测量表面粗糙度方面,其测量范围可达1.0μm~80μm。

  非接触测量:由于采用光切法,避免了与被测表面的直接接触,减少了测量误差和表面损伤。

  广泛应用:光切法显微镜在金属加工、机械制造、材料科学等领域具有广泛应用,可用于测量各种加工表面的粗糙度。

  注意事项

  在使用光切法显微镜时,应选择合适的照明装置,并确保光源与被测物体的距离在适当范围内。

  为防止灰尘污染和保持镜头的清晰度,应定期检查并及时清洁镜头。

  避免长时间连续工作,以防止设备过热和损坏。

  综上所述,光切法显微镜通过其独特的测量原理和工作过程,为科学研究和工业生产提供了高精度、非接触的微观表面测量手段。