激光干涉仪的测量方法主要基于光的干涉原理,通过测量干涉条纹的变化来推断被测量物体的参数。以下是激光干涉仪测量方法的详细步骤和要点: 一、基本原理 激光干涉仪利用两束相干光在空间交叉处发生干涉,形成干涉条纹。通过测量干涉条纹的相位差或位移量,可以计算出被......[查看详情]
激光平面干涉仪校准规范涉及多个方面,包括校准的目的、范围、环境条件、校准项目、校准方法以及校准结果的处理等。以下是对激光平面干涉仪校准规范的一个概述: 一、校准目的 激光平面干涉仪校准的主要目的是确保仪器的测量精度和稳定性,通过校准消除仪器因长期使用、......[查看详情]